Cleanliness bij ASML: schoon is nog niet rein

cleanliness

De reinheidseisen aan verspaande producten liggen alsmaar hoger. Een OEM’er als ASML hanteert voor toeleveranciers zelfs meerdere cleanliness grades, die exact beschrijven aan welke eisen het product qua reiniging moet voldoen. Validatie van het productie- en reinigingsproces is een belangrijk onderdeel.

 

Hoge nauwkeurigheid machines stelt steeds hogere eisen aan de reinheid van onderdelen

ASML beschrijft de reinheidseisen in een GSA cleanliness grade. Deze gaan ver, legt Karen Remmers, cleanliness specialist bij ASML, uit. De classificatie schrijft niet alleen de reinheidseisen voor, maar ook hoe je dit moet meten. Zelfs het gebruik van vloeistoffen en reinigingsmiddelen wordt voorgeschreven. Is grade 1 het allerstrengste, ook delen die aan grade 2 moeten voldoen moeten al absoluut schoon zijn, wat je volgens ASML alleen kunt bereiken als je in elke productiestap speciale aandacht geeft aan de reinheid van het halffabrikaat. Voor verspaande delen betekent dit onder andere dat ASML voorschrijft dat koelsmeeremulsies gebruikt moeten worden die reinigbaar zijn en dat tussen twee bewerkingen in er een tussenreiniging moet plaatsvinden. Daarmee wil men voorkomen dat emulsies indrogen en naderhand gaan verdampen als het onderdeel in de machine is ingebouwd. De regels gaan ook in op hoe je met standtijden van baden omgaat en dat ze altijd vers moeten zijn. Regelmatige controle van machinevloeistoffen is een andere eis.

 

Lees het volledige artikel over het hoe en waarom van deze reinheidseisen in het digimagazine

Hier klikken
Authors

Gerelateerde artikelen

Top