Naast Model Based Definition is cleanliness het andere thema dat bij ASML hoog op de agenda staat. De moderne chipmachines werken met een dusdanig hoog vacuüm en hoge nauwkeurigheid, dat de eisen aan de oppervlaktereinheid op een niveau liggen dat het hele proces moet kloppen om deze te halen. Clean 2020 brengt eind januari de experts samen.
Zelfs deeltjes van 30 nm kunnen fouten veroorzaken in de nieuwste generatie EUV-machines van ASML. Sporen van bepaalde elementen die op het oppervlak achterblijven, kunnen een desastreus effect hebben op de optische elementen in zo’n machine. Daarom heeft ASML een nieuwe GSA richtlijn ontwikkeld.
Hoge eisen aan oppervlaktereinheid uitdaging voor de hele supply chain
Reinigen niet meer voldoende voor Grade 1
Dirk Trienekens, Cleanliness Expert bij ASML, gaat tijdens Clean 2020 in op de nieuwe spelregels zoals ASML die heeft samengevat in de Generic Standard of ASML (GSA). Hij laat daarnaast zien hoe de nieuwe werkwijze er uitziet om aan deze regels te voldoen. Voor de Grade 1 producten liggen deze extreem hoog. Een simpele reiniging van de onderdelen volstaat niet langer. Dirk Trienekens gaat tijdens Clean 2020 in op hoe de chipmachinefabrikant en de supply chain moeten samenwerken om de eisen van de nieuwe GSA richtlijn in de praktijk te halen.
Alle toeleveranciers moeten meewerken
Robert Meier, hoofd Cleaning Process Technology bij Zeiss, pakt dit thema eveneens op vanuit de aanpak in de hele supply chain. De oppervlaktereinheid die de lithografie industrie eist, is niet langer iets dat één partij in de keten kan waarmaken. Voor de hoogwaardige componenten voor de EUV machines zijn zowel specifieke reinigingsmachines als processen nodig, aldus Meier. ASML en Carl Zeis zijn samen opgetrokken in het ontwikkelen van de nieuwe richtlijn, die volgens Robert Meier door de hele supply chain heen impact heeft. Niet alleen op de 1. Tier supplier, ook op de toeleveranciers die op een lager niveau werken.
Oppervlaktereinheid begint bij de design engineer
Moleculaire verontreiniging – daar gaat het om – op het eindproduct voorkomen, begint helemaal vooraan in de supply chain. Bij de ontwerp engineers. Dat zal Freek Molkenboer, System Engineer bij TNO, laten zien in zijn presentatie tijdens Clean 2020. Het is van belang om tijdens het ontwerpstadium van een product of een systeem, de oppervlaktereinheidseisen realistisch op te stellen. Dit om te voorkomen dat het product óf niet schoon genoeg is óf dat er overbodige reinigingskosten worden gemaakt.
Praktische informatie
Clean 2020 vindt op 28 januari plaats bij het Mikrocentrum in Veldhoven. Naast presentaties door de specialisten uit de sector, exposeren bedrijven die oplossingen leveren voor de oppervlaktereinheid en het voorkomen van vervuiling. Klik hier voor het programma van Clean 2020. En hier vind je een overzicht van alle exposanten.
[…] Grade 2 reinigen vergt controle over elke stap in het proces. Voor Driek Brouwers begint dit al bij het proces van de klant. “Communiceren met klanten is belangrijk. Hun proces moet in orde zijn, maar we moeten ook hun productfilosofie weten om mee te kunnen gaan.” RVS Clean laat klanten de te reinigen onderdelen direct in trays plaatsen, om de kans op beschadiging tijdens transport te vermijden. Bij nieuwe producten vindt er altijd een ingangscontrole plaats, omdat het belangrijk is te weten welke verontreinigingen op het product zitten. Dat bepaalt welk van de 15 reinigingsprogramma’s die tot nog toe zijn samengesteld, gekozen wordt. “Om fouten te voorkomen was de scanoptie die Ecoclean biedt voor ons belangrijk. Daarmee sluiten we een foutkans uit.” Zitten er teveel verontreinigingen op de onderdelen, dan doet RVS Clean eerst een voorreiniging in de traditionele reinigingsbaden. Daarmee voorkomt men eveneens dat emulsies of oliën op het product tot een verontreiniging van de chemicaliën in de Ecocleanmachine leiden. Het dampontvettingssysteem reinigt zichzelf. “De gereinigde afvalstoffen worden uit de reinigingschemicaliën gehaald die dan weer opnieuw kan worden gebruikt. De chemicaliën worden dus nooit vervuild”, legt de bedrijfsleider van RVS Finish uit. Wel zal de werking iets minder effectief worden. Daarom is voorreiniging bij sterk vervulde producten aan te raden en wordt de vloeistof dagelijks gecontroleerd. Daarnaast wordt door Safechem maandelijks de vloeistof ook gecontroleerd. In principe moet het bad meer dan een jaar meegaan. […]
[…] “Technische reinheid is geen optie meer, het is een verplichting”, zegt Werner Renz, Solution Manager Technical Cleanliness, ZEISS Industrial Quality Solutions. Vervuiling leidt tot machinestilstand en vermindert de levensduur van systemen. Daarom is de controle op de deeltjesreinheid volgens VDI deel 19.1 of de internationale norm ISO 16232 een vast onderdeel van het kwaliteitsmanagement geworden. […]
[…] exposanten viel op het aantal partijen dat qua reinheid van onderdelen oplossingen presenteerde. Cleanliness is overduidelijk een thema dat de sector bezig houdt. “Kijk maar om je heen”, zegt Paul […]